碳化硅硬度僅次于金剛石，可用作砂輪等磨具的磨料。所以主要是用金剛石砂輪磨削、研磨、拋光，其中金剛石砂輪效率高，是加工SiC的重要手腕。但碳化硅不只具有高硬度的特性，而且脆性高，斷裂韌性低，在磨削過程中容易形成脆性斷裂，在材料外表留下一層破碎層，形成嚴重的外表和亞外表損傷，影響加工精度。


　　硬脆材料的磨削性能

　　磨削硬脆材料時，碳化硅磨料對其有滾動或微切削作用。當碳化硅磨粒作用在有不平整和裂紋的外表時，隨著磨削過程，在磨削載荷的作用下，一些磨粒被壓入工件，顯露的刀尖用來刮擦刻工件外表停止微切削。另一局部SiC磨粒在工件和磨盤之間滾動產(chǎn)生滾動作用，使工件外表構(gòu)成微裂紋，裂紋擴展使工件外表構(gòu)成脆性切屑，從而達到外表清潔的目的。

　　由于硬脆材料的抗拉強度小于抗壓強度，當磨粒加載時，硬脆資料外表的拉應(yīng)力會產(chǎn)生微裂紋。當縱橫交織的裂痕延伸并互相穿插時，裂痕所包圍的部位就會斷裂，斷裂成小塊。這是磨削硬脆資料時切屑構(gòu)成和外表構(gòu)成的根本過程。

　　碳化硅是一種高硬度脆性資料，需求特殊的磨削液。碳化硅磨削的主要技術(shù)難點在于高硬度材料減薄厚度的準確丈量和控制。磨削后，晶片外表呈現(xiàn)損傷、微裂紋和剩余應(yīng)力。減薄后，碳化硅晶圓會呈現(xiàn)比碳化硅晶片更大的翹曲現(xiàn)象。

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